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发布日期:2024-03-07 04:46    点击次数:64


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7月11日幸运快艇体育,据“中国光谷”微信公众号音尘,华工科技近期制造出了我国首台中枢部件100%国产化的高端晶圆激光切割开采。

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据华工激光半导体居品总监黄伟先容,半导体晶圆属于硬脆材料,在一个12英寸的晶圆上畸形千颗致使数万颗芯片,晶圆切割和芯片离别无论禁受机械或激光形势,齐会因物资搏斗和高速通顺而产生热影响和崩边,从而影响芯片性能,因此,限度热影响的扩散范围和崩边尺寸是关节。

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而机械切割的热影响和崩边宽度约20微米,传统激光在10微米傍边;此外,切割线宽的减少,意味着晶圆能作念到更高的集成度,从而使得半导体制造更经济、更有成果。

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自客岁以来幸运快艇体育,黄伟团队对半导体晶圆切割本事,伸开微纳米级激光加工的迭代升级、攻坚冲破,“最忙时团队20多东谈主两班倒轮替作念测试履行和居品优化,开采24小时束缚。”

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过程一年勤勉,华工科技制的半导体晶圆切割本事告捷终了升级,热影响降为0,崩边尺寸降至5微米以内,切割线宽可作念到10微米以内。成为了我国首台中枢部件100%国产化的高端晶圆激光切割开采,在半导体激光开采界限攻克多项中国第一。

按照分娩一代、研发一代、储备一代的理念,华工激光正在研发具备行业源泉水平的第三代半导体晶圆激光改质切割开采,计算本年7月推出新址品,同期也正在开发我国自主学问产权的第三代半导体晶圆激光退火开采。

良友表示,华工科技开采于1999年,领有20000多平米的研发、中试基地,在国际设有3个研发中心,与华中科技大学共建有激光加工国度工程商议中心、国度防伪工程商议中心、敏锐陶瓷国度重心履行室。通过产学研用纽带,华工科技牵头制定国度“863”计算技俩、国度科技复古计算技俩、十三五国度过错科技计算专项等50余项,牵头制定中国激光行业首个国际圭臬,取得国度科技跨越奖3项。

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剪辑:芯智讯-林子